薄膜介电常数就是指衡量薄膜电容器所使用的电介质储存电能多少的能力。薄膜的介电常数代表了电介质对于电荷的束缚能力的强弱。薄膜电容器的介电常数越小，电容器对电荷的约束能力就越弱；薄膜电容器的介电常数越大，对电荷的束缚能力就越强。薄膜电容器所使用的电介质对电容器的容量有影响，使用相同的电介质影响相同，而使用不同的电介质，介电常数不相同，所造成的影响也不同。下面微谱介绍下关于薄膜介电常数测试方法，薄膜介电常数标准方面的知识。

一、薄膜介电常数测试方法

薄膜材料介电常数的标量法：

此方法运用了传输线法测量原理，***先我们需测量出待测介质的损耗，并间接得出反射系数，然后再由反射系数与介电常数的关系式推出介质的介电常数。薄膜可以分为高损耗、低损耗和高反射三类，通过实验证了三种薄膜的损耗随频率改变基本呈相同的变化趋势，高频稍有差别，允许误差范围内可近似。

二、薄膜介电常数标准

ASTMA893/A893M-2003(2015)微波频率下非磁性材料复介电常数试验

GB/T11297.11-2015热释电材料介电常数的测试

GB/T12636-1990微波介质基片复介电常数带状线测试

ASTSJ20717A-2018氧化锌压电薄膜规范

SJ21102-2016氮化铝压电薄膜通用规范

MD1531-2006测定聚乙烯的介电常数与耗散系数的试验

BS7663-1993片型和管型电绝缘材料介电常数和耗散因数测定的试验

GB/T5597-1999固体电介质微波复介电常数的测试

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