SIMS二次离子质谱仪，是利用质谱法分析初级离子入射靶面后，样品表面被高能聚焦的一次离子轰击时，溅射产生的二次离子而获取材料表面信息的一种方法。根据溅射的二次离子的质量信号，对被轰击样品的表面和内部元素分布特征进行分析。二次离子质谱仪分析对象包括金属、有机物、半导体、绝缘体、生物膜等，应用领域包括化学、物理学和生物科学等基础研究，并已遍及到材料科学、微电子学、薄膜等领域。下面微谱介绍下关于sims测试是什么，sims测试哪里可以做方面知识。
一、sims测试是什么
1）、sims测试样品：
GaN基（Mg、Si、C、O等）
Si基（C、H、O等）
SiC基部分元素定量分析
2）、测试范围：
1、掺杂和杂质深度分析
2、浅注入和超薄膜的超高分辨率深度分析
3、薄膜的组成和杂质的测量
4、芯片分析，芯片结构及杂质元素定性定量分析
3）、测试标准：
ASTME1505-1992(1996)离子移植外标物中SIMS相关灵敏度因数测定指南
ASTME1880-1997(2002)用次级离子质谱法(SIMS)对组织低温部分分析规程
ASTME1504-2011次级离子质谱法(SIMS)中质谱数据报告的标准实施规程
ASTME1505-1992(2001)离子移植外标物中SIMS相关灵敏度因数测定指南
ASTME1880-1997用次级离子质谱法(SIMS)对组织低温部分分析规程
二、sims测试哪里可以做
Sims检测一般委托第三方检测机构进行测试,第三方检测机构一般具备相应资质，他们可为客户提供sims测试检测服务。微谱作为一家检测机构，检测资质齐全，已获得了中国合格评定国家认可委员会（CNAS）、中国CMA资质认定证书，拥有先进实验室仪器及行业资深测试工程师，值得客户信赖。
以上就是小编为大家带来的关于sims测试是什么，sims测试哪里可以做的相关内容介绍，希望对大家能够有所帮助，如果您想要了解更多资讯请联系微谱客服！
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